產品詳情
  • 產品名稱:高溫*納米壓痕測試儀

  • 產品型號:UNHT3 HTV
  • 產品廠商:CSM
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簡單介紹:
高溫納米壓痕測試儀(高溫*納米壓痕測試儀)是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在 800°C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。高溫*納米壓痕測試儀(高溫納米壓痕測試儀)UNHT 技術與獨特的加熱功能結合,可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。
詳情介紹:

高溫*納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)

儀器簡介:

高溫納米壓痕測試儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。專 利 UNHT 技術與獨特的加熱功能結合,可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。

主要特點:

環境條件下低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內低熱漂移 (< 3 nm/min)。

高載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和低框架柔度 (<<0.1 nm/mN):兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合,可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。

高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統,允許在測量期間關閉初級泵,使振動降至*低。

獨特的加熱控制系統(3 項專 利待批),采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱,以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內。

符合 ISO 14577 ASTM E2546 **標準

技術指標:

載荷

*大載荷

100 mN

載荷分辨率

  6 nN

本底噪音

  0.5 [rms] [μN]*

位移

*大位移

100 μm

位移分辨率

0.003 nm

本底噪音

0.15 [rms] [nm]*

 

*限真空度

10? mBar

*高溫度

800 °C

***實驗室條件下規定的本底噪音值,并使用減震臺。

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